ケイ・エス・ティ・ワールド独自の技術で開発された超厚膜の熱酸化膜付ウェーハは、光通信を支える光デバイスに欠かす事のできない材料となっています。当社の製品･技術が世界の通信機器メーカーや光部品メーカーに採用されています。

Undercladding wafer for AWG

光導波路（AWG）では、アンダークラッド層と呼ばれる最下部のSiO₂膜が生産歩留まりを決定づけるほど非常に大きな役割を担っています。
ケイ・エス・ティ・ワールドの厚膜熱酸化膜は、優れた表面清浄度と安定した膜質で世界のトップシェアを獲得しました。

保証スペック

項目	仕様
膜厚	20um±5%（最大膜厚）
面内均一性	±0.5%
面間均一性	±0.5%
屈折率(@1550nm)	1.4458±0.0001

標準品ラインナップ

サイズ	ウェーハ厚み	熱酸化膜厚
4インチ	525um　1mm	15um、20um
6インチ	625um　675um　1mm	15um、20um
8インチ	725um	15um、20um
12インチ	775um	15um

※上記のウェーハサイズおよび膜厚は、ケイ・エス・ティ・ワールドの標準品を記載しています。
※その他のサイズおよび膜厚も対応可能です。（最高膜厚30µmまで）

屈折率面内分布データ

表面粗さデータ